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噴膠機是現(xiàn)代光電子產(chǎn)業(yè)中光刻膠涂布的重要設備?？蓪Σ煌叽绾托螤畹幕M行涂膠，最大涂膠尺寸達8”，得到厚度均勻的光刻膠層，同時可對大深寬比結構的側壁進行均勻涂膠；通過計算機系統(tǒng)控制器進行工藝參數(shù)的編輯和操作。

噴膠機對噴膠的關鍵使用性能要求如下：

1.可用于對不同形狀尺寸的基片進行噴膠.最大噴膠尺寸要求達到8”。

2.可對不粘度的膠進行噴涂，供膠分辨率在15uL以內。

3.可對大深寬比結構進行側壁涂膠，得到厚度均勻的膠膜。

4.噴膠均勻性要求：單片表面≤±15%，片間為≤±10%。

5.計算機系統(tǒng)控制工藝參數(shù)。

6.可手動卸載基片。

7.可對基片喝夾具加熱。

8.噴膠室易清洗。

9.供膠流速和流量可編程。

10.供膠回吸量可調節(jié)。

11.適用于所有光刻膠和聚合物。

12.具有自動針管式膠液供給系統(tǒng)，可調節(jié)壓力控制及測量計，并具有膠液回吸功能。

13.基片可對準。

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